硅片研磨目检黄光灯

上海峰志仪器有限公司销售的晶圆晶片表面瑕疵缺陷检查灯，又叫硅片研磨目检黄光灯，美国路阳从2010到现在一直致力于为客户研发更适合的表面瑕疵检查灯，近根据晶圆晶片客户要求开发新款应用于半导体晶圆晶片表面瑕疵检查灯LUYOR-3318，内置30W大功率led模组发光，可检查出半导体晶圆表面1um瑕疵，瑕疵包含冗余物（如微小颗粒、灰尘、晶圆加工前一个工序的残留物）和机械损伤。

表面检查灯LUYOR-3318采用人眼敏感510-590NM之间波长光，为桌面式检查灯，可检查到1um以下的刮痕或微粒子，并且具有绿光和黄光2种颜色的复合光，几乎可检测出尘埃，大大降低晶圆晶片不良率。使用寿命为2万小时以上。光源强度可达90000LX，小可以检测1μ的表面脏污，比传统的检查灯，效用增强10倍。

紫外表面检查灯LUYOR-3318UV是一款台式紫外wafer晶片晶圆表面瑕疵检查灯，高强度紫外线，柔性软管支撑，可多种角度照射，可解放双手方便各种测试; 高强度紫外线可细微检测出晶圆表面各种瑕疵，紫外灯的光束轮廓非常均匀，没有任何足迹显示LED的阴影，黑点或其他干扰缺陷。

另外美国路阳还生产便携式平行光表面检查灯LUYOR-3320，该款表面检查灯也可选择黄光，绿光、白光和紫外光等多种波段，可选择220v交流供电，也可选择锂电池组供电。

LUYOR-3318产品介绍请浏览：LUYOR-3318表面检查灯

一片晶圆片表面分布数十万单独的晶片，在做成芯片之前，需要对晶圆片进行相应的缺陷检查。美国路阳LUYOR-3318系列于晶圆片表面瑕疵缺陷检查，以检查晶圆片表面飞尘为例演示：

一、测量需求

晶圆片表面飞尘

二、测量步骤

1）准备好晶圆片表面缺陷检测灯调整至合适的位置

2）戴好相应的测试装备（手套、眼镜）

3）手拿晶圆片开始检测，查看表面飞尘情况，并调试灯光知道观察效果明显

4）做相应的分类及记录

如上体所示，半导体晶圆片缺陷检查灯LUYOR-3318系列白光、黄光，绿光都能看好的查看晶圆片表面的飞尘，除了飞尘，也可以检查出晶圆片表面的刮痕等缺陷。由于手机拍不出微小的瑕疵，需要查看的，可联系上海峰志仪器有限公司或美国路阳上海公司（免费请根据网页底部联系方式联系4006-254-365）申请样机试用。

美国路阳从2010年专注于检查灯的研究（我们掌握了核心技术，我们可以提供不同照度的平行灯，它们可满足不同客户的要求），用于晶圆片、LCD、屏幕，基材……表面瑕疵（划痕、微尘、凹凸、油墨）检查，精度可达到1um。